国内 6N（99.9999%）超纯氦量产完整解读

一、基础概念区分（行业最容易混淆）

• 5N 氦气：99.999%，工业主流，检漏、光纤、普通核磁；无法用于先进半导体光刻
• 6N 氦气：99.9999%（电子级超纯氦）
  关键控制指标：氖、氢、氧、水、颗粒物，尤其氖杂质是最大技术门槛；
  下游刚需：12 英寸晶圆、光刻机、EUV 配套、高端外延、离子注入；
• 更高规格 **6N9（99.99999%）** 为超高端科研、下一代先进制程，目前国内仅小批量试样，未规模化量产。

重点澄清：能做出 6N 样品 ≠ 稳定工业化量产；量产 ≠ 通过半导体原厂认证；认证 ≠ 大批量进入晶圆厂供应链。

二、国内具备 6N 超纯氦量产能力企业梯队

第一梯队：规模化量产 + 半导体客户认证

1. 华特气体（688268）

   ✅ 行业公认标杆：国内唯一 6N 氦气取得 ASML、Gigaphoton 双重认证，可适配 EUV 光刻机 7nm 及以下先进制程；

   ✅ 模式：采购国内外粗氦，依托自有深冷纯化装置精制至 6N；短板：缺少自有提氦气源；

   ✅ 客户：中芯国际、长江存储、华虹等国内头部 12 寸晶圆厂，是国产 6N 氦气最大供货方。
2. 金宏气体（688106）

   ✅ 新疆阿拉尔 LNG-BOG 尾气提氦项目 2026 年 7 月进入试运营，自产气源 + 后端纯化直接产出 6N 电子氦；

   ✅ 样品已完成多家成熟制程晶圆厂认证；采用 “自产粗氦 + 进口俄氦” 双原料路线；

   ✅ 定位：兼顾成熟制程半导体、光纤、高端实验室。

第二梯队：具备 6N 纯化工艺，小规模量产 / 持续送样认证

1. 蜀道装备（300540）

   自研深度脱氖专利技术，内蒙古雅海 BOG 提氦基地原有 5N 产线改造升级，具备稳定产出 6N 能力；

   优势：全套提氦 + 纯化设备自主制造；现阶段 6N 产量有限，优先供给封测、光纤预制棒企业。
2. 凯美特气、和远气体

   依托石化尾气、LNG 尾气回收路线，可稳定产出 6N 品级；主要面向封装、光伏、科研色谱，暂未进入高端光刻供应链。
3. 万瑞冷电（设备厂商）

   掌握低丰度天然气提氦 + 超纯精制装备，可产出最高 6N9 样品；主业销售提纯设备，自身不大规模外销氦气。

补充：九丰能源

三、两大主流技术路线对比（国产 6N 氦来源）

路线 1：外购粗氦深度纯化（华特气体主流模式）

路线 2：本土 BOG 提氦（金宏、蜀道、九丰路线，长期战略方向）

四、这次突破的重大行业意义（结合 7 月氦气出口管制）

1. 打破外资长期垄断
   过去国内 6N 电子氦几乎由林德、液空、空气产品三家外资掌控；国产规模化量产，直接削弱外资定价权。
2. 对冲进口供应链风险
   卡塔尔产能修复缓慢、俄罗斯压缩氦出口配额、美国限制高端电子气体流通；国产 6N 氦成为半导体供应链安全缓冲。
3. 配合国内氦气出口管制政策
   7 月实施氦气成品禁止出口，优先保障国内半导体、航天刚需；自产 6N 产能释放，防止高端工业气源外流矛盾加剧。

五、客观现实：不要过度乐观（行业痛点）

1. 整体产能依旧有限
   目前全国稳定外销 6N 氦年总产量仅数百万立方米级别；国内半导体行业全年氦气总需求超千万方，短期依旧高度依赖进口 6N 氦。
2. 认证壁垒极高
   晶圆厂气体准入认证周期普遍 1–3 年；即便纯度达标，配套充装、输送、颗粒物控制、持续稳定性都需要长期验证，先进 EUV 产线切换供应商非常谨慎。
3. 原料资源硬约束
   我国属于贫氦国家，天然气含氦浓度远低于美国、卡塔尔；大规模自产氦只能依靠BOG 尾气、煤层气伴生氦，很难复制海外大型富氦气田模式。
4. 5N 与 6N 存在明显价差
   6N 电子氦价格比工业 5N 高纯氦高出 30%~80%，下游普通检漏、气球行业不会选用 6N，市场细分清晰。

六、后市商业影响（氦气批发贸易视角）

1. 长期：随着 2026–2028 多条 BOG 提氦 6N 产线陆续投产，6N 电子氦价差会缓慢收窄；
2. 短期（2026 下半年）：新增产能释放速度有限，叠加全球供给紧张，6N 电子氦价格维持高位震荡；
3. 客户分层：头部晶圆厂优先锁定国产 6N 长协；中小客户短期内依旧混合采购国产 + 进口气源。