国产高端电子特气连续实现技术突破,国产化提速

2026-07-02 10:03 80 浏览

  • 常州大学攻克 6N 级高纯电子氯气纯化技术,打破海外长期垄断,适配先进芯片刻蚀清洗工序;
  • 大连科利德 6 月公示三氟碘甲烷、锗烷中试项目,填补环保型刻蚀气体国内量产空白;
  • 中船特气 7N 级六氟化钨批量导入台积电 3nm 产线,国内电子特气整体自给率提升至 35%-45%,先进制程国产替代加速落地。