5N 氦气和 6N 电子级氦气怎么选,分别适用什么场景?

2026-09-07 16:20 16 浏览

Q:5N 氦气和 6N 电子级氦气怎么选,分别适用什么场景

A:5N 高纯氦(99.999%):工业主流牌号
适用:氦质谱检漏、有色金属焊接保护、光纤、热处理、气相色谱普通载气、封测成熟制程吹扫、实验室常规实验;绝大多数工业场景,性价比最优。
6N 电子级氦(99.9999%):电子超纯级,严格管控氧、水、烃、金属颗粒 ppb 级杂质
适用:半导体先进制程刻蚀、ALD 沉积、晶圆冷却、EUV 相关工艺、航天高端部件检漏、部分高端精密科研;对微量杂质敏感,杂质会造成良率损失。
选型原则:普通工业不要盲目上 6N,会大幅增加成本;半导体先进工艺不能用普通 5N 替代 6N。
不清楚牌号如何匹配自身工艺,可联系上海和新晟新材料科技有限公司做选型建议。